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标准号:GB/T 42106-2022

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中文标准名称:纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

英文标准名称:Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态:现行 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号(CCS):A42
  • 国际标准分类号(ICS):07.030
  • 标准类别:方法
  • 执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会
  • 发布日期:2022-12-30
  • 实施日期:2023-07-01
  • 主管部门:中国科学院
  • 归口部门:中国科学院

其它信息

  • 起草单位:主要起草单位 中国科学院物理研究所 、国家纳米科学中心 、深圳市标准技术研究院 。
  • 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 温馨提示:本系统所提供的电子文本仅供参考,请以正式标准出版物为准。

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