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标准号：GB/T 43315-2023

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中文标准名称：硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法

英文标准名称：Test method for flow pattern defects in silicon wafer—Etching technique
标准状态：即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：H21
  • 国际标准分类号（ICS）：77.040
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 发布日期：2023-11-27
  • 实施日期：2024-06-01
  • 主管部门：国家标准化管理委员会
  • 归口部门：国家标准化管理委员会

其它信息

  • 起草单位：主要起草单位 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 、山东有研半导体材料有限公司 、中环领先半导体材料有限公司 、浙江海纳半导体股份有限公司 、厦门万明电子有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、麦斯克电子材料股份有限公司 、浙江旭盛电子有限公司 。
  • 发布单位：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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