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标准号：GB/T 43313-2023

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中文标准名称：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法

英文标准名称：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
标准状态：即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：H21
  • 国际标准分类号（ICS）：77.040
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 发布日期：2023-11-27
  • 实施日期：2024-06-01
  • 主管部门：国家标准化管理委员会
  • 归口部门：国家标准化管理委员会

其它信息

  • 起草单位：主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、山东天岳先进科技股份有限公司 、常州臻晶半导体有限公司 、湖州东尼半导体科技有限公司 、厦门坤锦电子科技有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、广东天域半导体股份有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中国科学院半导体研究所 、ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司 、浙江东尼电子股份有限公司 。
  • 发布单位：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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