标准号：GB/T 44513-2024

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中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

标准状态：即将实施推荐性

采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。采标中文名称:半导体器件微机电器件第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。
起草单位：主要起草单位昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司。

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