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标准号：GB/T 44515-2024

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中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
标准状态：即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：L59
  • 国际标准分类号（ICS）：31.080.99
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 发布日期：2024-09-29
  • 实施日期：2025-01-01
  • 主管部门：国家标准委
  • 归口部门：国家标准委

其它信息

  • 采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-30:2017。 采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。
  • 起草单位：主要起草单位 北京自动化控制设备研究所 、安徽奥飞声学科技有限公司 、芯联集成电路制造股份有限公司 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州大学 、华润上华科技有限公司 、太原航空仪表有限公司 、中国航天科工飞航技术研究院 、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、北京遥测技术研究所 、西安交通大学 、北京晨晶电子有限公司 、上海新微技术研发中心有限公司 、天津新智感知科技有限公司 、上海芯物科技有限公司 、天津大学 、北京大学 、河北初光汽车部件有限公司 、共达电声股份有限公司 、河南芯睿电子科技有限公司 、广东润宇传感器股份有限公司 、华景传感科技（无锡）有限公司 。
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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