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标准号：GB/T 44514-2024

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中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials

标准状态：现行推荐性

基础信息

中国标准分类号（CCS）：L59
国际标准分类号（ICS）：31.080.99
标准类别：方法
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
发布日期：2024-09-29
实施日期：2024-09-29
主管部门：国家标准委
归口部门：国家标准委

其它信息

采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-31:2019。采标中文名称:半导体器件微机电器件第31部分：层状MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法。
起草单位：主要起草单位北京自动化控制设备研究所、合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、北京晨晶电子有限公司、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、苏州大学、西安交通大学、中国科学院空天信息创新研究院、深圳市速腾聚创科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司、航天长征火箭技术有限公司、天津新智感知科技有限公司、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）、山东中科思尔科技有限公司、苏州和林微纳科技股份有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司。

温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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