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标准号:GB/T 44538-2024

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中文标准名称:碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

英文标准名称:Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
标准状态:即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号(CCS):A29
  • 国际标准分类号(ICS):25.220.99
  • 标准类别:基础
  • 执行单位:全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会
  • 发布日期:2024-09-29
  • 实施日期:2025-04-01
  • 主管部门:中国机械工业联合会
  • 归口部门:中国机械工业联合会

其它信息

  • 采标情况:本标准修改采用ISO国际标准:ISO 23216:2021。 采标中文名称:碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能。
  • 起草单位:主要起草单位 中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 、纳狮新材料有限公司 、安徽纯源镀膜科技有限公司 、中国科学院深圳先进技术研究院 、广东电网有限责任公司 、广州今泰科技股份有限公司 。
  • 温馨提示:本系统所提供的电子文本仅供参考,请以正式标准出版物为准。

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