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标准号：GB/T 44842-2024

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中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems （MEMS） technology—Bend testing methods of thin film materials
标准状态：现行 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：L59
  • 国际标准分类号（ICS）：31.080.99
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 发布日期：2024-10-26
  • 实施日期：2024-10-26
  • 主管部门：国家标准委
  • 归口部门：国家标准委

其它信息

  • 采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-18:2013。 采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第18部分：薄膜材料的弯曲试验方法。
  • 起草单位：主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所 、苏州市质量和标准化院 、中机生产力促进中心有限公司 、成都航天凯特机电科技有限公司 、苏州大学 、无锡芯感智半导体有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、西北工业大学 、华南理工大学 、深圳市美思先端电子有限公司 、天津大学 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、苏州市标准化协会 、安徽北方微电子研究院集团有限公司 、广东润宇传感器股份有限公司 、无锡韦感半导体有限公司 。
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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