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标准号：GB/T 44839-2024

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中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
标准状态：即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：L59
  • 国际标准分类号（ICS）：31.080.99
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 发布日期：2024-10-26
  • 实施日期：2025-02-01
  • 主管部门：国家标准委
  • 归口部门：国家标准委

其它信息

  • 采标情况：本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-10:2011。 采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第10部分：MEMS材料微柱压缩试验方法。
  • 起草单位：主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中机生产力促进中心有限公司 、苏州容启传感器科技有限公司 、武汉大学 、北京大学 、上海交通大学 、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、苏州晶方半导体科技股份有限公司 、东南大学 、苏州慧闻纳米科技有限公司 、中关村光电产业协会 、工业和信息化部电子第五研究所 、昆山双桥传感器测控技术有限公司 、芯联集成电路制造股份有限公司 、深圳市道格特科技有限公司 。
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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