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标准号：GB/T 42896-2023

9 浏览

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

英文标准名称：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS
标准状态：即将实施 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：L59
  • 国际标准分类号（ICS）：31.200
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
  • 发布日期：2023-08-06
  • 实施日期：2023-12-01
  • 主管部门：国家标准化管理委员会
  • 归口部门：国家标准化管理委员会

其它信息

  • 起草单位：主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京燕东微电子科技有限公司 、宁波芯健半导体有限公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 。
  • 发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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