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标准号：GB/T 14146-2021

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中文标准名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

英文标准名称：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准状态：现行 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：H21
  • 国际标准分类号（ICS）：77.040
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 发布日期：2021-05-21
  • 实施日期：2021-12-01
  • 主管部门：国家标准化管理委员会
  • 归口部门：国家标准化管理委员会

其它信息

  • 起草单位：主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、中电晶华（天津）半导体材料有限公司 、有研半导体材料有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、义乌力迈新材料有限公司 。
  • 发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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