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标准号：GB/T 26068-2018

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中文标准名称：硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

英文标准名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
标准状态：现行 推荐性

基础信息

  • 中国标准分类号（CCS）：H21
  • 国际标准分类号（ICS）：77.040
  • 标准类别：方法
  • 执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
  • 发布日期：2018-12-28
  • 实施日期：2019-11-01
  • 主管部门：国家标准化管理委员会
  • 归口部门：国家标准化管理委员会

其它信息

  • 起草单位：主要起草单位 有研半导体材料有限公司 、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 、中国计量科学研究院 、浙江省硅材料质量检验中心 、广州市昆德科技有限公司 、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 、北京合能阳光新能源技术有限公司 。
  • 发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 温馨提示：本系统所提供的电子文本仅供参考，请以正式标准出版物为准。

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